沸石轉輪中VOCs殘留處理方法有哪些？由于VOCs在使用過程中在滾筒內的殘留，會造成沸石轉輪劣化，處理效率降低，應如何避免和應對這樣的情況？

　　減少沸石轉輪內VOCs殘留量，主要是通過改善VOCs廢氣的進氣質量和提高脫附效率來實現的。

　　

　　1.廢氣的預處理

　　煙氣預處理措施一般有除塵、除濕、除霧和高沸物去除等。根據所處理VOCs廢氣的實際情況，需要選擇合適的廢氣預處理措施。例如，半導體制造過程中對生產場所的微粒要求很高，而生產場所通常是潔凈車間。所以，有機廢氣中微粒含量很低，一般不需要進行除塵預處理。

　　2.在芯片制造過程中所用的主要有機原料一般都是低沸點，易揮發的，但也不排除有少量的高沸點物質，如脫液主成分二甘醇胺(沸程218~224℃)等。為避免VOCs廢氣中難脫附的高沸物進入沸石轉輪，可在高沸物處理工序中增加冷凝、前道活性炭吸附等預處理設備。

　　無錫碳投環境有限公司高沸點VOCs容易在進入排氣管后冷凝，從而增加了廢氣的濕度。如果有機廢氣的含水量在80%以上時進入沸石轉輪系統，會對疏水沸石分子篩產生較大的影響。建議在高濕度廢氣中增設干燥除濕預處理裝置，使進入污水處理廠的廢氣濕度保持在穩定可控范圍內。